停機之后高真空氣動擋板閥自然也會關閉，但真空室內仍處于高真空狀態。如在設備出現故障停機的情況后，操作人員沒有按使用規范及時的進行破真空或開啟真空泵的動作，而是在自動界面直接點擊氣動案件，那么此時高真空氣動擋板閥至真空室內處于高真空狀態，高真空環境至真空泵端則為常壓狀態。此時高真空氣動擋板閥若打開，真空泵如有參與的油氣，那么油氣便會受真空室內負壓的作用被到吸入真空室內，造成真空室內產品的污染。

停機之后高真空氣動擋板閥自然也會關閉，但真空室內仍處于高真空狀態。如在設備出現故障停機的情況后，操作人員沒有按使用規范及時的進行破真空或開啟真空泵的動作，而是在自動界面直接點擊氣動案件，那么此時高真空氣動擋板閥至真空室內處于高真空狀態，高真空環境至真空泵端則為常壓狀態。此時高真空氣動擋板閥若打開，真空泵如有參與的油氣，那么油氣便會受真空室內負壓的作用被倒吸入真空室內，造成真空室內產品的污染。

除了對操作人員進行使用規范外，考慮到人員的流動性及操作規范的執行力等因素，也需要從設備控制方面進行簡單有效的優化，增加真空泵啟動與高真空擋板閥啟動間的互鎖功能，保證在真空泵未開啟的狀態下無法啟動高真空氣動擋板閥，以達到防止誤操作而造成真空室返油的情況。

若是出現真空室內產品受污染出現報警的情況，一般而言發生這樣的情況更多是對設備操作不當，導致真空泵產生的部分油氣被倒吸入真空室內所至的。真空等離子清洗機在待機狀態時真空泵通常是運行的，主要是通過高真空氣動擋板閥的打開與關閉實現對真空室的抽真空功能。在設備運行過程匯總，如出現真空泵故障、真空泵熱過載故障、電源偏差及反射過大等情況報警時，為保護設備關鍵配件不受損壞，設備將自動停機。

若是出現真空室內產品受污染出現報警的情況，一般而言發生這樣的情況更多是對設備操作不當，導致真空泵產生的部分油氣被到吸入真空室內所至的。等離子清洗機在待機狀態時真空泵通常是運行的，主要是通過高真空氣動擋板閥的打開與關閉實現對真空室的抽真空功能。在設備運行過程匯總，如出現真空泵故障、真空泵熱過載故障、電源偏差及反射過大等情況報警時，為保護設備關鍵配件不受損壞，設備將自動停機。